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Aera FC-780CHT高溫金屬密封蒸汽質(zhì)量流量控制器

Aera? FC-780CHT MFCs withstand high temperatures and prevent condensation in applications that require the heating of a liquid source to generate sufficient vapor pressure for MFC flow control. 

Configured with the printed circuit board in a separate module that is not subjected to elevated heat, FC-780CHT MFCs are able to withstand the effects of bake-out at high temperatures.

Aera FC-780CHT系列質(zhì)量流量控制器能經(jīng)受高溫，在液體加熱產(chǎn)生大量蒸汽的環(huán)境質(zhì)量流量控制時(shí)可以防止冷凝收縮。

隔離的模塊線路設(shè)計(jì)使得控制器不受高溫影響，F(xiàn)C-780CHT能夠有效抵抗烘烤環(huán)境時(shí)的高溫影響。

流量范圍：10sccm-5slm

Benefits:

High reliability

Long-term zero drift stability

優(yōu)點(diǎn)：

高可靠性

長期零點(diǎn)漂移的穩(wěn)定性

Features:

Rugged, high-temperature design

Metal seals

Solenoid control valves

80°C(176°F) max temp for MFC base

50°C(122°F) max temp for remote electronic controller

特點(diǎn)：

牢固，高溫設(shè)計(jì)

金屬密封

電磁控制閥

本體***高支持溫度80°C(176°F)

遠(yuǎn)程控制器***高支持溫度50°C(122°F)