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特點(diǎn)：

極寬的測(cè)量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)

極好的重復(fù)性,過(guò)程壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲

可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性

應(yīng)用：

半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

工業(yè)鍍膜

***般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍

INFICON皮拉尼復(fù)合真空計(jì)BPG400/ BPG402-S

產(chǎn)品型號(hào)：BPG400/ BPG402-S

INFICON生產(chǎn)的Bayard-Alpert皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG402-S,兩種真空計(jì)集成在***個(gè)小型的單元內(nèi),測(cè)量范圍從5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓). 復(fù)合的技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.