主要技術參數：
（1）曝光面積：100mm×100mm；
（2）照明不均勻性： ≤3%（ Ф100mm 范圍）；
（3）分辨力：1.0 μm（膠厚 2.0 μm 的正膠，365nm 波長）
（4）對準精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；
（6）樣片尺寸：直徑 Ф15mm－－ Ф100mm、厚度 0.1mm－－6mm；
（7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm;Thelta:±6°；
（8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（進口）；
（10）曝光波長：365nm；
（11）曝光強度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定時：***方式(0.1s—9999.9s 任意設定).
（13）調平接觸壓力通過傳感器保證重復
（14）數字設定對準間隙和曝光間隙
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
技術構成與配置
設備由曝光頭系統、對準工件臺系統、CCD 對準顯微鏡系統、電控系統、氣動系統等部分構成。
（1）曝光頭系統包括:
◆ 進口紫外 LED 光源模塊；
◆ LED 光源整形模塊；
◆ XYZ 光源位置調節臺；
◆ 光學系統（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風扇。
（2）對準工件臺系統包括：
◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）；
◆ 轉動臺；
◆ 樣片調平機構，采用三爪加球氣浮自動調平方式；
◆ 樣片調焦機構，采用電機加傳感器方式，可數字分離曝光間隙；
◆ 承片臺 4 個（Ф15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 個）；
◆ 掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 個）。
（3）CCD 對準顯微鏡系統包括：
◆ 對準光源 LED 燈；
◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體；
24 ◆ 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統包括：
◆ 單片機控制系統；
◆ 紫外 LED 電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動系統包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。
(6)．輔助設備配置:
◆ 真空泵 1 臺（干泵）；
◆ 靜音空氣壓縮機 1 臺；
◆ 配套接管 10m；
(7)．備品備件
◆ 對準光源燈 4 只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）；
滬公網安備31011502016460號
