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價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-05-11 14:12
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晶圓測試探針臺主要性能參數：
規格
Chuck（可選）
4" 或6" 不銹鋼，真空吸附型，獨立開關控制
Chuck X-Y軸行程，精度
4" x4"，10um
Chuck 旋轉角度
0~360 度
Chuck 旋轉角度微調精度
0.01°
Chuck快速升降（選配）
4mm
Chuck微調升降（選配）
4mm ，1um精度
Chuck 平整度
5um
針座平臺
C型設計，可放置8個BT 型針座，可擴展為O型平臺
針座平臺平整度
5 um
顯微鏡Z軸行程，精度
2"，細調精度0.1um
需求
電力
220 VAC, 60Hz
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm寬*320mm長*400mm高（帶顯微鏡）
重 20 Kg（帶顯微鏡）
可選附件
激光切割
加熱臺
防震桌
顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測
光強/波長測試接口部件
射頻測試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測試
高壓測試
CCD視頻系統
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck
CS系列 探針臺造型小巧，測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發。
CS探針臺能夠勝任的測試有：
序號
根據測試樣品分類
根據應用分類
1
晶圓測試
射頻測試
2
LED測試
高溫環境測試
3
功率器件測試
低電流（100fA ***）測試
4
MEMS測試
I-v/c-v/p-iv測試
5
PCB測試
高壓，大電流測試
6
液晶面板測試
磁場環境測試
7
太陽能電池片測試
輻射環境測試
8
材料表面電阻率測試
9
積分球測試
應用領域：
探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。
使用電源：220±10%，50~60Hz
中型探針定位器探針座
IGBT高壓大電流測試探針測試臺
探針臺
精密氣浮防震桌
高低溫真空探針臺，高磁場環境測試探針臺
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